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碳化硅热处理装置和方法

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种碳化硅热处理装置和方法。热处理装置至少包括一个密封炉室、炉室内设置旋转加热平台、高频感应加热器和样品保护罩构成。采用高频感应加热法代替现有的电阻率加热；高频感应加热器对石墨圆板加热，石墨圆板旋转，1500-1700℃下恒温加热0.5-2.0小时。本发明将区熔单晶的部分工艺与热处理相结合构成了新的热处理工艺，为SiC热处理提供了一个可靠的方法。该技术工艺先进，操作方便，推广前景...
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