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硅基微器件产品协同设计与工艺规划理论与方法

2009年 基础理论
  • 成果简介
本成果受国家自然科学基金资助,属机械工程学科产品设计技术领域。
微机电系统MEMS (Micro Electro-Mechanical System,简称MEMS)是在微纳米量级上综合利用机械、电子、材料、光学、信息等多学科技术而衍生出的微尺度机电产品,其可广泛用于航空航天、通讯、电子、汽车、仪器仪表、生物医学、军事等许多领域,有着巨大的市场前景。硅基微器件产品在MEM...
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