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IC和TFT掩膜用合成石英玻璃基板

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
我公司采用CVD法生产合成石英玻璃工艺及装备、中频热改型技术，精密冷加工及研磨技术，自主研发了“IC和TFT掩膜用合成石英玻璃基板”，成品规格达到了预定标准。成品率达80%以上，外观质量好，无气泡、紫外透过率高、荧光特性好，满足客户要求。IC和TFT掩膜用合成石英玻璃基板的研制成功，不仅填补了国内空白，让民族工业赶上国际水平，同时也推动了中国石英行业的发展。...
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