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铌酸锂光波导基片LN-OWG-P

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
主要技术:铌酸锂光波导基片采用双面研磨抛光技术,提高了晶片的平面度和平行度;使用钇铝石镏石作精研材料,降低了晶片的表面损伤层;用化学抛光液进行精抛,表面质量达到10/5,成功研制出低损伤光波导基片。
目前大量使用的光波导器件多为铌酸锂基片,主要是利用铌酸锂的线性电光效应制成光相位调制器、光开关、光滤波器、光衰减器等,它们主要应用于光纤通信、光纤传感、光学仪器、光信息处理...
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