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MEMS硅基压力敏感芯片生产技术研究

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　任务来源：
　　传感器是一种能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置，是过程自动控制系统和信息系统的关键基础元器件。而敏感芯片是传感器的核心部件。
目前，发达国家已经将传感器技术列入涉及国家利益的敏感技术之列。并向我国市场大量倾销传感器产品，但对敏感芯片制造技术、涉及用于军事领域应用的高质量芯片技术等重要的、核心的、先进的以及可能会涉及国家安全方面...
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