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新型冷阴极电子发射材料与器件研究

2009年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
采用准分子激光器制备纳米金刚石膜,研究了激光重复频率、激光功率、气体环境对沉积纳米金刚石膜的影响作用,探索出制备出高质量纳米金刚石膜的工艺,纳米金刚石膜的沉积速率、光学性能、场发射性能均达到国内先进水平。研制了纳米金刚石膜用于场发射显示的原型器件,工艺简单,有较好发展前景。...
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