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面向CNT-FET装配的纳米制造技术

2009年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　课题研究为CNT基纳电子器件的研究与应用提供了可行的技术途径，并为基于其他纳米粒子的纳米器件装配制造提供可借鉴的技术。课题取得的主要研究成果如下：
　　1.在我国率先开展了系统的CNT FET装配制造技术研究，在CNT的精确操控与构建CNT基纳米器件方面的研究达到了世界先进水平。
　　2.在解决面向CNT FET纳米器件制造的关键技术：CNT溶液制备、微电极芯片设计、基...

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