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全光纤斐索干涉共焦测量装置

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明提出一种利用波分复用技术、采用光纤光栅滤波器巧妙融合的斐索干涉仪技术和共焦显微技术的方法,提供一种用于微纳器件的表面形貌、台阶高度、多层结构中各层的厚度等几何量进行高精度测量的全光纤斐索干涉共焦测量装置。...
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