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利用集成电路工艺改进固体照明外效率的研究

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目基于深刻蚀光栅的简化模式，在石英玻璃基板上，采用高密度离子体刻蚀设备、半导体光刻工艺和激光全息技术，完成了一系列的高效率亚波长光栅器件的开发，如宽带1×2分束器，偏振无关1×3分束器等。...
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