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实时纳米精度面形干涉测量仪

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
纳米精度表面形貌检测在先进光学制造、半导体加工、微电子机械系统（MEMS）等领域应用广泛用于透镜、棱镜、超光滑镜基片等光学元件表面加工精度的检测，光盘基片、硅片、MEMS器件等物体的三维形貌检测。目前 国内外物体表面形貌的纳米精度测量主要采用基于高精度移相技术的光学干涉测量仪，主要为Zygo、Veeco等国外公司产品，其表面形貌测量时间一般为秒量级。该纳米精度表面形貌测量仪采用正弦相位调制...
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