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电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法，是一种电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法，即修正挡板的设计方法，本发明方法可以快速准确地设计出修正挡板，可以大大提高光学薄膜厚度均匀性。...
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