首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

微光学元件的一步制作及与光电子元器件集成技术的研究

2009年 基础理论
  • 成果简介
　　该项目主要来源于国家基金和国际合作项目，当时衍射光学和微光学的发展正处于方兴未艾的时期，对二元光学及衍射光学元件制作技术的研究和报道如雨后春笋层出不穷。但当时的微光学制作技术都存在一个不足之处：即只能在光刻胶或光致抗蚀剂上曝光，经显影处理得到设计的图案，然后再通过干法刻蚀将光刻胶上的图案转移到基底材料上。这就意味着最终的制作误差将由每一工艺步骤所产生的误差累积而成。如果能实现衍射光学元件的一步...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统