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PEMSIP法刀具TiN涂层技术

2005年

应用技术

成果简介

技术简介：等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)TiN涂层技术是在磁控溅射离子镀(简称MSIP，发明专利，1988年国家发明二等奖)基础上研究出来的一种新型PVD刀具涂层技术。PEMSIP法TiN涂层特点：炉内溅射清洗能获得洁净工件表面；涂层与基体之间年形成30-80nm伪扩散型过渡层；涂层与基体结合力强；涂层由Ti2N和TiN两相组成，硬度为HV2000，工艺范围宽；涂层硬质合金刀具...

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