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FA/O半导体材料切削液及技术的研究

2001年

应用技术

中期阶段

成果简介

根据国际上对ULSI衬底低损伤、低微裂、低应力的要求，在切削机理、切削剂和切削技术上进行了创新性研究，首先提出了衬底滚磨、切削、倒角对衬底制备中损伤、微裂、应力的影响机理和器件制备中的危害。
其主要创新点如下：
（1）提出了采用高效复合渗透剂提高切削速率和保护刀具寿命的机理模型。
（2）避免了国内外切削剂中使用无机碱带来的金属离子...

相关成果

1. FA/O半导体材料切削液及技术的研究
2. FA/O半导体材料切削技术
3. FA/O抛光液及抛光技术
4. FA/O抛光液与抛光技术
5. FA/O高纯多功能界面活性剂
6. 替代ODS物质的FA/O清洗液
7. 单晶硅等半导体材料线切割用切削液OXSI-303
8. FA／O高纯多功能界面活性剂的研究及其在微电子工业中的应用
9. FA抗盐调控机理及抗盐剂配方的研究
10. FA框架
12. 水基切削液废液处理技术
13. FA旱地龙
14. FA旱地龙
15. FA旱地龙
16. 半导体材料碳化硅晶体制备技术及产业化
17. FA旱地龙应用技术推广
18. 纳米Ⅲ-Ⅴ族半导体材料、技术的研发
19. 半导体材料的关键切割技术
20. 半导体材料高效放电切割技术
21. HF32FA(JZC-32FA)通用继电器
22. 水基切削液
23. 悬挂链移动曝气装置及多级A/O工艺的研究
24. FA旱地龙抗旱节水增产技术研究
25. 基于化合物半导体材料高速光开关的研究
26. GAN半导体材料和器件
27. 半合成切削液系列产品的研究与应用
28. FA、FB型牵引杆
29. 化合物半导体材料关键技术研究
30. 高效金属冷却切削液
31. 新型透明切削液
32. 9FA燃气轮机运行及维护关键技术研究
33. 低维半导体材料中非线性光学效应的研究
34. 半导体材料CdTe、CdS特性研究及在光伏领域的应用
35. 合成多种金属硒化物及碲化物半导体材料的方法
36. 碳化硅薄膜半导体材料
37. 新型半导体材料与器件物理
38. 抗水防锈水基合成切削液
39. JG微乳切削液产品
40. FA496粗纱机
41. FA498粗纱机
42. “FA-旱地龙”示范试验
43. 希诺达SCORE/FA税控器
44. HFC236FA制备研究
45. FA494粗纱机
46. FA200丝束拉断机
47. SiO_2-B_2O_3-Na_2O结合的立方氮化硼超硬磨具配方及制造技术
48. SiO2-B2O3-Na2O结合的立方氮化硼超硬磨具配方及制造技术
49. 攀钢高炉渣提取TiO_2及Sc_2O_3的研究
50. 碳化硅薄膜半导体材料研制
51. 活性α-AL_2O_3及煅烧其用匣钵的制备技术
52. O,O-二乙基硫代磷酰氯
53. HW型高效精加工切削液
54. CH-1精加工切削液
55. 长寿命集中润滑切削液
56. 新型HFUT高效金属切削液
57. JKH-4磨床专用切削液
58. FA204型梳棉机
59. FA762A-10型倍捻机
60. FA208型梳棉机
61. FA496B粗纱机
62. FA316型并条机
63. FA269型精梳机
64. FA113型单轴流开棉机
65. FA224型梳棉机
66. FA900针梳机
67. FA491型粗纱机
68. FA712型并纱机
69. FA型高效塑化掺合料
70. FA312高速并条机
71. FA528型细纱机
72. 高活性络合液肥FA-L
73. FA326型并条机
74. FA016型自动混棉机
75. FA221型梳棉机
76. FA203型梳棉机
77. 用于Ⅱ-Ⅵ族半导体材料位错显示的腐蚀剂及腐蚀方法
78. 用A/O法处理羽绒加工废水的研究
79. 碲锌镉半导体材料的欧姆电极
80. “FA旱地龙”抗旱增产应用技术研究与推广
81. BL-A环保长效切削液
82. GF型长寿命合成切削液
83. SJ-2型水基切削液
84. 新型水基切削液(WMCF-M)
85. NA--92防锈重载乳化切削液
86. BNS高级微乳状切削液的制备
87. HX-15型金属切削液
88. CCF-10系列微乳化切削液
89. JKH-4普通型切削液
90. O-Sepa高效选粉机的创新及应用
91. 废铜铬催化剂制备CUSO_45H_2O及NA_2CR_2O_7
92. HFC-245fa型无氟组合聚醚
93. FA356A型条并卷机
94. FA-130型数控落地铣镗床
95. FA109型三辊筒清棉机
96. FA716型高速并纱机
97. FA-6000型全自动验光仪
98. FA006型往复抓棉机
99. FA031型中间喂棉机
100. FA108E型锯齿辊筒开棉机

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