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力敏传感器芯片产业化

2003年 应用技术
  • 成果简介
厚膜力敏传感器是国外80年代出现的新型传感器，具有性能优良、成本低廉、耐腐蚀、耐高温、性能/价格比高等特点。通过国家“七五”科技攻关成功研制的廉价厚膜力敏传感器，填补了国内空白，获中科院科技进步三等奖、安徽省第二届发明展览会银奖。在“八五”“九五”的科技攻关中，又相继研制出厚膜集成压力传感器、应变式厚膜力敏传感器、厚膜微压传感器、小量程厚膜压力传感器、厚膜电容式传感器，获三项专利。市场分析：从市场...
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