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高真空磁过滤弧源

2004年 应用技术
  • 成果简介
高真空磁过滤弧源包括弧源屏蔽、阴极靶、引弧磁体、触发机构、水冷阳极、主弧电源、辅助阳极电源、辅助阳极、磁场线圈、离化阳极和离化电源，其真空度为10_(-1)-10_(-3)pa量级。其工艺为：启动触发机构产生金属弧斑，启动辅助阳极及电源产生预备弧等离子体；启动主弧电源产生稳定的等离子体，在磁场线圈产生的磁过滤磁场的引导下经过离化电源施加的电场的作用，二次离化和过滤金属液滴；阴极靶由阴极、阳极与触发...
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