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基于离子交换的脊形光波导器件

2004年 应用技术
  • 成果简介
该基于离子交换的脊形光波导器件的制作技术包括：(1)将整片制作波导的基底材料放入熔融的硝酸钾熔液中进行离子交换，以能形成波导为判断标准，最终得到平板波导；(2)用预先设计好的掩模版进行光刻，然后在做好光刻的基底上蒸发一层金属Cr或Ni，蒸发完成后进行剥离，使得基底上的金属图形为预先设计图形，然后进行干法刻蚀，得到脊形波导。该成果与硅基二氧化硅波导相比，由于采用离子交换技术制作波导，不需要薄膜沉积，...
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