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碳化硅纳米材料

2009年 应用技术
  • 成果简介
碳化硅材料主要有如下三方面用途:
A、在芯片、压电陶瓷、硅堆、二极管、太阳能级单晶硅多晶硅芯片等的线切割、研磨、抛光工序大都采用磨料微粉,其中碳化硅所占比例一直上升。
B、碳化硅陶瓷材料主要应用于以下几个方面:密封环:碳化硅陶瓷的耐化学腐蚀性好、强度高、硬度高,耐磨性能好、摩擦系数小,且耐高温,因而是制造密封环的理想材料。研磨介质(磨介):碳化硅陶瓷...
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