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多级耦合分离技术制备高纯电子级磷酸

2008年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

电子级磷酸是一种高纯超净的电子化学品，被誉为磷酸行业“皇冠上的明珠”，它作为铝蚀刻液、混酸蚀刻液、清洗剂等电子加工用化学品的主要成分，广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业的制造。
①课题来源与背景：此项目完成前，国内大尺寸液晶显示屏（TFT-LCD）、半导体(IC)工业及晶圆加工等微电子工业使用的高纯电子级磷酸全部依赖进口。随着国内TFT-LCD和I...

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