首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

厚膜电容式集成压力传感器研究

2001年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
厚膜电容式集成压力传感器研究成果，通过厚膜传感技术和厚膜混合集成（HIC）微电子技术及工艺兼容性研究，研制出新型厚膜电容式集成压力传感器。该传感器具有抗干扰能力强、受分布电容、寄生电容影响小、耐腐蚀、性能价格比高等特点。
该成果首次采用厚膜集成技术将感压元件、信号处理电路集成在同一芯片上，成果水平为国内领先。厚膜电容式集成压力传感器性能参数为：量程0-1MPa,0-0....
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统