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表面微结构检测系统及其检测方法

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　超光滑表面的检测以及微结构形貌的检测是光电子产业以及微加工等行业历来很重视的课题。而对表面粗糙度检测到纳米级的仪器在国际上也仅限于美英法日四国。由于国内许多配套技术的匮乏，例如，纳米级光滑的超薄型光学加工技术，及纳米级微位移控制技术等方面。使现行技术距国际先进水平和实际需要还有一定的差距。为赶超国际水平，我们在国家基金委和中科院的资助下，于1990年开始研究该技术，并研制相关仪器。
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