首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

微结构制造的高效光刻技术与应用

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本成果是在国家自然科学基金项目(10474070)的研究基础上研发成功的。
　　提出了用于微结构制造的高效率的激光光刻技术，发明了一种非对称式微结构的生成方法，并提出了用于微结构制造的数据处理方法与装置。采用二元光学元件，通过干涉光刻方式获得非对称式微结构，该结构使光发生衍射，获得消色差效果，同时，对光具有很好的扩散作用。才哟娜刚建立数字模板方式，可实现微结构光刻数据并行输出，大大...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统