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微型钻头表面强化超硬自润滑多元涂层的研究

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
采用多种技术结合（包括离子源、非平衡磁控溅射、中频电源、阴极电弧等技术）的手段制备超硬自润滑多元薄膜。利用离子源离化出氩离子直接轰击工件，使工件露出新鲜的表面，然后，在高偏压条件下进行短时间阴极电弧金属离子轰击后，利用非平衡磁控溅射离化出多种金属离子，同时通入反应气体(如N2、CH4)经离子源，使其充分离化成离子，所有离子在自身动量和偏压的作用下，在工件表面发生碰撞、键合等作用，生成金属氮...
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