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软X射线多层膜界面改性及稳定性的研究

2001年 基础理论
  • 成果简介
本项目由荷兰FOM自然科学基金“软X射线多层膜”，我国国家教委留学基金“软X射线光学多层膜及离子束对其界面改性的研究”及辽宁省自然科学基金“光、电功能多层膜及其界面的研究”为来源。多层膜是由两种或多种材料交替沉积形成的层状微结构。它显示出奇特的光、电、磁、力学性质。被称为二十一世纪新材料。软X射线多层膜用于X射线光学、激光系统，是亚微米光刻机中关键部件的重要材料。多层膜界面及界面改性和多层...
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