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碰撞溅射的基础研究

2008年 基础理论
  • 成果简介
该项目建立的张公式（或M-张公式）由两项构成：第一项为能量沉积所产生的各向同性项，这就是著名的Sigmund溅射公式；第二项就是由动量沉积产生的各向异性修正项。新公式的最大特点是首次将总溅射产额与入射粒子的能量函数关系和溅射产额角分布、能量分布以及同位素效应联系起来，因而在多元素材料溅射理论的应用性方面开辟了一条新途径。...
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