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CP300型低温泵

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该利用低温表面冷凝、吸附和捕集原理将气体固定在冷板上，从而达到抽真空的目的。共工作机理主要包括三个方面：低温冷凝、低温吸附、低温捕集。性能指标：泵口直径300mm；极限真空度：10-7Pa；抽速（L/S）：对H2O：9000、对Air:3000、对H2：5000、对Ar：2500；Ar最大通导：1.5×103Pa.L/S；降温时间：≤90min....
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