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罗茨干泵（机组）

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备，由于技术门槛高，国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额，国内产品在工程化应用方面尚属于空白。
　　罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为：
　　抽速：480m^3/h；
　　转速：3000rpm；
　　极限真空：1.5X10^(-3)Torr；
　　进气...
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