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自动椭圆偏振测厚仪

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
自动椭圆偏振测厚仪为我公司独立研究开发的教学仪器，于2006年4月-2008年6月顺利地完成了“天津市科技型中小企业技术创新资金项目”课题的开发任务，并通过了相关部门组织的项目验收工作。
本仪器的主要技术原理是依据光的偏振方面的特性。采用消光法椭偏原理，记录激光反射消光时的起偏器及检偏器的角度，再根据这两个角度值计算出样品镀膜的厚度和折射率。
主要技...
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