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超细金刚石切割线

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本项目根据国内外目前超细金刚石切割线研究现状,研制出能够采用连续生产的绿色工艺,减少了电镀镍工序环节,降低了产品的成本,填补了该领域国内空白。
该产品的生产将有助于提高我国集成电路基础材料的超精密加工和微细加工技术水平,将为我国IC制造产业提供拥有自主知识产权的技术,同时对于发展超硬材料加工制品工艺,丰富超硬材料加工理论,提高我国半导体制造技术水平具有重要的理论意义和实...
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