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DRF-85A型单晶硅晶体生长炉

2008年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目研发技术属于新能源中的太阳能光伏设备研发与制造领域，研究的主要内容是在公司原有生产的DRF-85型单晶硅晶体生长炉基础上研制开发投料量达90公斤，能稳定生长6"~8.5"无位错单晶的DRF-85A型单晶硅晶体生长炉。主要围绕单晶硅重量的增加给坩锅提升、旋转及单晶的提拉、旋转和炉体、外围真空度等在技术上带来的难题，采用先进传动减速结构和驱动机构，从根本上解决“DRF-85A型单晶炉”设...

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