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6英寸新型电力电子器件用硅外延片

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
硅外延是一种半导体材料薄膜生长技术，即将硅衬底在还原性气氛中加热，并输入硅源和掺杂气体，使之反应，生成硅原子淀积在衬底上，长出具有与衬底相同晶向的硅单晶层，其电阻率和厚度符合特定要求。
电力电子器件又可称为开关器件，其工作过程就是能量过渡过程。随着关键技术的突破以及需求的发展，早期的小功率、低频、半控型器件发展到了现在的超大功率、高频、全控型器件，新型电力电子器件向着大...
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