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新型电子元器件开发及产业化

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
贴片式高频声表面波器件是利用声表面波传播和谐振原理，是在电子学、声学、材料学理论基础上应用微电子技术制造而成的频率器件。其频率越高，器件形状越小，叉指条宽越窄，制造难度越大。本项目主要包括设计软件研制、图形细微加工工艺、光刻反剥工艺、贴片管壳设计制造工艺、封装测试工艺等攻关。形成一条批量生产线。
经过二年的研制开发及小批量生产，对关键的技术问题大量的工艺试验，已基本解决...
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