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抗振实时纳米精度表面形貌测量装置

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
课题组成功研发了一种具有自主知识产权的用于表面形貌测量的滤波鉴相式正弦相位调制抗振实时表面形貌测量新技术。该技术采用国际前沿的光学正弦相位调制干涉技术测量表面形貌，同时采用实时鉴相技术、反馈技术和归一化技术提高系统的抗干扰能力；采用补偿技术解决电流调制半导体激光器波长引起的测振光源光强变化的问题。并纳米精度地测量了楔形平板的表面形貌。
在集成电路、MEMS等领域研发、生...
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