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硅微压传感器

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该项目成功地开发出具有国际先进水平的高过载扩散硅微压传感器。
取得了下列重要科技成果：
（1）5～10微米薄硅膜慢腐蚀控制技术；
（2）应力匀散抗过载技术；
（3）防静电粘接的双层双岛微机械新结构形成技术；
（4）为硅微压传感器高速、高精度测量定标的新型设计密闭容器硅微压传感器测量定标仪。 ...
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