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新型脉冲直流PCVD模具表面强化设备与技术的研制开发

2001年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

该项目属863计划新材料领域资助项目，着重研究解决量大面广的工模具及机械零部件的节材延寿问题。其技术原理是借助脉冲直流气体，在H_2、N_2、Ar和Ticl_4、CH_4等气氛中发生相沉积反应，形成高硬度，耐腐蚀的硬质陶瓷膜如TiN、TiC、TiCN等，以改善工件的表面性能。该技术实现了脉冲直流逆变式电源设计制造，四路工作气体的质量流量精确控制，独特的阴极结构设计，内热式加热系统设计等多处...

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