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利用定向纳米碳管制作可集成的散热器件

2008年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本课题研究的总体目标是制备并优化纳米碳管微通道散热器。
本课题研究着重解决纳米碳管定向生长工艺这一关键性技术问题，并相应地克服散热器与大功率集成电路芯片实现集成的相关技术问题，并在此基础上开发出一项集成电路散热新技术。
（一）项目完成情况具体内容包括：
1. 与芯片工艺的兼容性：催化粒子细微图案薄膜制备研究
整...
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