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高纯及超高纯气体中痕量杂质变温浓缩装置及方法的研究

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
近几年来，随着半导体及电子工业的迅猛发展，市场上对高纯及超高纯气体的需求日益增加。在高纯气的生产质控环节，气体产品的贸易、应用等各个方面都存在很大的检测需求。因此开展高纯气体中杂质含量的分析方法研究，意义重大。变温浓缩法，目前是气体痕量杂质分析中常用的样品前处理技术。但由于没有成熟定型的装置设备，行业内对其的应用还停留在比较原始的阶段。各单位自行搭建浓缩装置，设备的仪器化程度不高，造成使用...
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