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一种微型扭转式单刀双置射频开关结构及制作方法

2007年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
基于MEMS技术的单刀双置的射频开关，以淀积的电介质薄膜和金属薄膜共同构成的质量块，利用其在驱动电压的作用下发生扭转的现象，通过淀积，光刻，刻蚀等简单的微机械表面加工技术，制作出低驱动电压的对两条射频信道进行可靠的单选的单刀双置的开关。此结构具有低驱动电压和良好的可靠性的特点，应用于射频通信系统和无线通信系统中以实现性能好、工艺简单、可以批量生产的微机械的射频器件。...
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