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工模具表面陶瓷化pcvd技术开发与工业应用

2002年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本项目是国家八六三计划新材料领域项目,系统地研究了脉冲直流pcvd硬质陶瓷材料的应用基础理论和制备关键技术,有针对性地进行了工业水平工艺技术开发和应用推广工作,在pcvd薄膜材料制备方面,开发了界面制备技术、应力缓释技术,掌握了复合离子渗镀技术,深孔镀膜技术,突破了制备高结合强度低残余应力和良好韧性的pcvd薄膜的技术关键,获得了综合性能良好的多元多层薄膜材料体系;在pcvd薄膜材料应用方...
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