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基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关

2004年

应用技术

成果简介

“基于MOEMS无阻塞16′16阵列光开关”项目是上海光机所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担国家863计划项目，在该项目的研制过程中，课题组特别注重光开关器件的可靠性和稳定性工艺技术的深入研究，在阵列光开关的整体结构设计、基于MEMS的微电磁执行器制备、微光学双面反射镜制备、光纤准直器的固定封装工艺、多路对多路矩阵光开关的精密装配技术、阵列光开关的组封装和无阻塞算法等方...

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56. 16#车辆专用槽钢
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100. 柯萨奇病毒16型(CA16)核酸测定试剂盒(荧光PCR法)

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