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基于超声波理论的电镀金刚石线锯切割技术

2008年 应用技术
  • 成果简介
应用超声波下的电镀金刚石线锯的高效精密切片技术与目前采用的切片技术相比具有很大的优越性，是面向下一代IC制造的大尺寸硅晶体切片的先进技术。这项新技术的研究与应用涉及到声学、机械学、电子技术、材料学、摩擦学、晶体物理、微观力学等基础理论和超硬磨料工具制造、精密加工和加工过程控制等工艺技术，是多学科交叉的研究课题。本项技术应用基于超声原理的电镀金刚石线锯高效精密硅晶体切片的基础理论和关键工艺技...
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