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纳米晶金刚石膜探测器件的研究

2008年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
（一）纳米晶金刚石薄膜探测器件的研究
（1）采用热丝化学气相沉积（HFCVD）方法在[100]硅衬底上生长出纳米晶金刚石薄膜。通过工艺条件优化和对衬底施加负偏压，在面积为2X2cm2的[100]硅衬底上实现了纳米晶金刚石薄膜。提出了实现探测器级纳米晶金刚石薄膜的最佳制备工艺条件。获得的金刚石薄膜晶粒尺寸小于50nm、粗糙度小于20nm。
（2）通过解...
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