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一种用于硅各向异性腐蚀的装置

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种用于硅各向异性腐蚀的装置，包括：磁力搅拌器、腐蚀容器、电阻丝加热的金属板或陶瓷裹覆的金属 板、冷凝回流器、控制腐蚀液温度的温度控制仪和PH值测量仪。本发明装置结构的优点是：腐蚀参数和腐蚀状态可控制，保证了被腐蚀样品腐蚀结果的可重复性和满足样品设计要求的微细结构。...
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