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机器人化纳米操作方法与系统实现研究

2008年 基础理论
  • 成果简介
本课题提出并研究了具有实时力/触觉及视觉反馈与控制的AFM机器人化纳米操作方法，通过对纳米环境中物体的受力与运动方式进行理论分析与建模，对AFM探针的高精度驱动与定位、实时三维纳米力及纳米视觉反馈与控制等关键问题进行了深入研究。
在探针的高精度驱动与定位方面，通过对压电陶瓷驱动器的电压－位移迟滞/非线性特性进行分析，提出并采用基于复现扫描轨迹的驱动方法进行驱动，并对管式...
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