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柔性衬底ITO透明导电膜的研制

2008年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
透明导电膜是一种重要的光电子信息材料，在光电子及电子器件等方面有着广泛地应用。在有机柔性衬底上制备的透明导电膜不但具有硬质衬底透明导电膜的光电特性，而且具有可挠曲、重量轻、不易破碎、有利于电子器件的小型化和轻便化等独特优点，有望成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品。
本项目以聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）为衬底材料，以铟锡氧化物陶瓷材料为靶材，采用直流磁控溅射工艺，通...
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