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D07系列气体质量流量控制器/流量计

2008年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
气体质量流量控制器(简称MFC,Mass Flow Controller)用于对气体的质量流量进行精确的测量和控制,它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相...
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