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12英寸单晶炉MCZ综合系统

2008年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

国家“863”计划项目“超大规模集成电路配套材料重大专项”中的“TDR－150型单晶炉（12英寸MCZ综合系统）”课题在北京通过验收，这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅生长设备在我国首次研制成功。单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备，所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。在我国，以单晶炉为代表的晶体生长设备一直存在核心技术不足的问题，高端产品均为...

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