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纳米多层超硬薄膜及在工模具上的应用

2008年

应用技术

中期阶段

成果简介

本研究采用多种技术结合（包括离子源、非平衡磁控溅射、中频电源、阴极电弧等技术）的手段进行TiN/AlN、TiC/a-C、CrN/TiAlN、WC/DLC等多种纳米多层膜的技术开发。利用离子源离化出氩离子直接轰击工件，使工件露出新鲜的表面，然后在高偏压条件下进行金属离子轰击，利用多靶非平衡磁控溅射技术来制备所需的超硬薄膜，同时开启离子源离子化反应气体辅助沉积，提高膜层质量。通过对工艺参数与成...

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