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纳米复合结构超硬薄膜制备与增韧的研究

2008年 应用技术
  • 成果简介
利用真空阴极电弧等离子体沉积技术，制备了多种纳米结构的金属氮化物、氧化物和碳化物超硬薄膜，包括纳米多层膜、纳米晶颗粒膜和成分与硬度梯度膜。开发了多种制备纳米结构氮化物超硬薄膜的新技术，包括冷阴极大束流离子束辅助沉积、脉冲真空阴极电弧沉积、等离子体动态活化反应沉积、多组元薄膜成分控制技术等。利用X-射线衍射、俄歇能谱、拉曼光谱、X-射线光电子谱、场发射扫描电镜、高分辨率透射电镜、原子力显微镜...
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