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电孤离子镀(Ti,M ) N 硬质薄膜与硬质梯度薄膜研究

2008年 应用技术
  • 成果简介
一、将过渡金属M 用电弧离子镀方法添加于TiN 薄膜中:1 . ( Ti,M ) N 薄膜硬度均高于TIN 薄膜硬度,合金强化效应普遍存在;2 .薄膜相结构决定于添加元素M 的周期律信息,包括M 的共价半径、电负性,及MN 化合物的自由能、晶格常数等;3 . ( Ti,Zr ) N 为多相混合结构,薄膜硬度高,但韧性差;其它(Ti,M ) N 的相结构为TIN 类型的单一fcc 结构,薄膜...
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